ГОСТ

Главная / ГОСТ

Общероссийский классификатор стандартовХИМИЧЕСКАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬОрганические химические веществаОрганические химические вещества прочие

ГОСТ Р 52250-2004. Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия

Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

Название на англ.:Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications
Тип документа:стандарт
Статус документа:действующий
Число страниц:31
Дата актуализации текста:01.08.2013
Дата актуализации описания:01.08.2013
Дата издания:02.07.2004
Дата введения в действие:01.01.2005
Дата последнего изменения:22.05.2013

Закажите консультацию специалиста


    Нажимая на кнопку вы подтверждаете согласие об обработке персональных данных