Общероссийский классификатор стандартов → ЭЛЕКТРОТЕХНИКА → Полупроводниковые материалы
Настоящий стандарт распространяется на слитки монокристаллического кремния, получаемые методом Чохральского и предназначенные для изготовления пластин-подложек, используемых в производстве эпитаксиальных структур и структур металл-диэлектрик-полупроводник
Название на англ.: | Monocrystalline silicon in ingots. Specifications |
Тип документа: | стандарт |
Статус документа: | действующий |
Число страниц: | 59 |
Дата актуализации текста: | 01.08.2013 |
Дата актуализации описания: | 01.08.2013 |
Дата издания: | 01.04.2001 |
Дата введения в действие: | 01.01.1983 |
Дата последнего изменения: | 22.05.2013 |
Переиздание: | переиздание с изм. 1 |
Взамен: | ГОСТ 19658-74 |