ХИМИЧЕСКАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ → Оборудование для химической промышленности *Транспортирование опасных химикатов см. 13.300 → Оборудование для химической промышленности прочее
Настоящий стандарт распространяется на установки финишной очистки воды, предназначенные для деионизации воды с последующей стерилизацией и очисткой от микрочастиц и микроорганизмов непосредственно на месте использования при производстве изделий микроэлектроники 4 степени интеграции
Название на англ.: | Installations for final water treatment. General technical requirement |
Тип документа: | стандарт |
Статус документа: | действующий |
Число страниц: | 2 |
Дата актуализации текста: | 01.08.2013 |
Дата актуализации описания: | 01.08.2013 |
Дата издания: | 01.10.2003 |
Дата введения в действие: | 01.01.1984 |
Дата последнего изменения: | 22.05.2013 |
Переиздание: | переиздание с изм. 1 |