База кодов ТН ВЭД → Раздел XVI. Машины, оборудование и механизмы; электротехническое оборудование; их части; звукозаписывающая и звуковоспроизводящая аппаратура, аппаратура для записи и воспроизведения телевизионного изображения и звука, их части и принадлежности (84-85) → реакторы ядерные, котлы, оборудование и механические устройства; их части → машины и аппаратура, используемые исключительно или в основном для производства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем или плоских дисплейных панелей; машины и аппаратура, поименованные в примечании 11 (в) к данной группе; части и принадлежности: → – машины и аппаратура для производства плоских дисплейных панелей: → – – установки для сухого травления рисунка на подложках жидкокристаллических устройств